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大口徑反射鏡表面顆粒污染物暗場檢測算法研究 [Early Posting]

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摘要

針對大口徑反射鏡表面污染物的成像特點,研究了污染物的暗場檢測算法,包括圖像采集過程中的自動聚焦算法,圖像處理過程中的畸變校正與污染物提取算法等。就自動聚焦算法提出了粗-精結合的峰值搜索策略,并采用Tenengard函數作為清晰度評價函數,獲得了較高的聚焦精度?;湫U惴ㄔ誚⒒淠P偷幕∩?,基于標定板角點的射影變換性質,求解畸變模型系數,實現圖像畸變校正,校正結果均方根誤差3.3092。污染物提取算法采用頂帽變換去除圖像背景,對去除背景的圖像采用拉普拉斯算子加權自適應二值化算法提取污染物,該算法針對光照不均的小尺寸污染物圖像處理效果較好,檢測結果數量誤差為7%,檢測精度優于全局閾值算法以及均值算子加權自適應二值化算法。

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補充資料

DOI:10.3788/aos202040.0711003

作者單位:

    哈爾濱工業大學
    哈爾濱工業大學
    哈爾濱工業大學
    哈爾濱工業大學, 機電工程學院, 精密工程研究所
    哈爾濱工業大學
    中物院激光聚變研究中心
    中國工程物理研究院激光聚變研究中心
    中國工程物理研究院激光聚變研究中心

引用該論文

尹朝陽,張德志,趙林杰,陳明君,程健,蔣曉東,苗心向,牛龍. 大口徑反射鏡表面顆粒污染物暗場檢測算法研究[J].光學學報,2020,40(07):0711003.

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