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 大高寬比光柵的搖床式輔助顯影工藝

王 藝 侯雙月 熊 瑛 田揚超 劉 剛

[摘要]針對大高寬比微結構顯影過程中由顯影液的對流傳質嚴重受限、光刻膠層厚、顯影時間長帶來的顯影不均勻問題, 提出了基于翹板式搖床輔助的顯影方法。利用有限元法模擬了搖床工作時整個樣品表面的流場分布以及顯影液在不...

 PDF全文光學 精密工程 | 2020, 28(03):632

 大高寬比光柵的搖床式輔助顯影工藝

王 藝 侯雙月 熊 瑛 田揚超 劉 剛

[摘要]針對大高寬比微結構顯影過程中由顯影液的對流傳質嚴重受限、光刻膠層厚、顯影時間長帶來的顯影不均勻問題, 提出了基于翹板式搖床輔助的顯影方法。利用有限元法模擬了搖床工作時整個樣品表面的流場分布以及顯影液在不...

 PDF全文光學 精密工程 | 2020, 28( 第3):632

 莫爾放大器的高階莫爾成像特征分析

歐陽春寶 王藝 熊瑛 劉剛 田揚超

[摘要]分析了高階莫爾成像的放大疊合原理,并在一階幾何變換莫爾方法的基礎上,通過將莫爾單元放大與周期放大過程分離,提出了一種改進的莫爾放大器設計分析方法?;詬梅椒?采用MATLAB對高階莫爾成像進行模擬分析,并設計制作...

 PDF全文光學學報 | 2019, 39(12):1223006

 電磁脈沖對數字信號處理器的干擾及其防護

王彥 焦紅靈 車文荃 何山紅 熊瑛 潘超 馮德仁

[摘要]為尋找有效的電磁脈沖防護加固措施,首先對電磁脈沖模擬器的干擾路徑進行分析,包括數字信號處理器(DSP)與放電回路的共地耦合干擾及共網電耦合干擾,并將結構優化設計、硬件屏蔽加固措施與設置軟件陷阱、開啟看門狗等...

 PDF全文強激光與粒子束 | 2013, 25(08):2173-2176

 UV-LIGA技術制作微型螺旋形加速度開關

黃新龍 熊瑛 陳光焱 田揚超 劉剛

[摘要]微型加速度開關是用于空間飛行體中感受加速度并完成致動的重要慣性器件。本文采用UV-LIGA技術,結合SU-8厚膠工藝、微電鑄工藝以及犧牲層技術,制作了微型螺旋形加速度開關。研究了犧牲層工藝、SU-8光刻技術以及螺旋形...

 PDF全文光學 精密工程 | 2010, 18(05):1152-1158

 大高寬比、高線密度X射線透射光柵的制作

柳龍華 劉剛 熊瑛 黃新龍 陳潔 李文杰 田金萍 田揚超

[摘要]利用電子束光刻、X射線光刻和微電鍍技術,成功制作了面積為1 mm×1 mm,周期為300 nm,金吸收體厚度為1 μm的用于X射線顯微成像的透射光柵。首先,利用電子束光刻和微電鍍技術在Si3N4薄膜上制作周期為300 nm,厚度為2...

 PDF全文光學 精密工程 | 2009, 17(01):72-77

 可誘導人眼自主調節的動態像差測量儀

余翔 饒學軍 薛麗霞 王成 胡羿云 熊瑛 姜文漢

[摘要]研究了人眼在近視力狀態下自動調節產生的動態像差。采用哈特曼夏克(Hartmann-Shack, H-S)原理研制了一套可誘導人眼屈光調節,并能測量不同調節狀態下人眼像差的測量儀。誘導原理為用視標在人眼近距離范圍內移動以誘發...

 PDF全文光學學報 | 2007, 27(07):1198-1204

 新型光敏劑竹紅菌甲素的強激光效應及電子激發態特性

高博文 禹繼國 曹寶香 陳平 熊瑛 湯國慶

[摘要]有機功能分子在開發新型光電子材料和光動力療法(PDT)光敏劑方面是一個重要的研究熱點;竹紅菌甲素(HA)分子屬于激發態質子轉移(ESIPT)型分子,具有豐富的激發態特性,且反應速度快,在新型激光染料和新型光電器件方面有...

 PDF全文中國激光 | 2006, 33(03):366-370

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