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大口徑高次非球面補償檢測方法的研究

Research on Compensation Testing Method for Large-Aperture and High-Order Aspheric Surface

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摘要

大口徑高次非球面的加工檢測是光學制造的難題之一。結合一個有效通光口徑為900 mm、頂點曲率半徑為2580 mm的高次非球面凹反射鏡,推導出高次非球面的球差系數?;諶斷癲罾礪?對高次非球面的法線像差進行補償,求解了補償系統的初始結構。設計了基于球面波和平面波的補償系統,并對高次非球面凹反射鏡進行研磨處理,經四維(4D)干涉儀檢測得到其面型精度為0.022λ,滿足實際測量要求。

Abstract

One of the difficult problems in optical manufacturing is to process and test large aperture and high-order aspheric surface. The spherical aberration coefficient of a high-order aspheric concave mirror with an effective aperture of 900 mm and a radius of curvature of 2580 mm was derived. Based on third-order aberration theory, the normal aberration of the high-order aspheric surface was compensated, and the initial structure of the compensation system was solved. Compensation systems based on spherical wave and plane wave were designed respectively, and the high-order aspheric concave mirrors were polished. The accuracy of the surface shape measured by four-dimensional interferometer is 0.022λ which meets the actual measurement requirements.

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中圖分類號:O435

DOI:10.3788/LOP57.072203

所屬欄目:光學設計與制造

收稿日期:2019-10-28

修改稿日期:2019-11-14

網絡出版日期:2020-04-01

作者單位    點擊查看

趙礎矗:合肥工業大學光電技術研究院, 安徽 合肥 230009
胡明勇:合肥工業大學光電技術研究院, 安徽 合肥 230009
張少偉:上海航天控制技術研究所, 上海 201109
李興隆:上海航天控制技術研究所, 上海 201109
李昭陽:合肥工業大學光電技術研究院, 安徽 合肥 230009

聯系人作者:趙礎矗([email protected]); 胡明勇([email protected]);

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引用該論文

Zhao Chuchu,Hu Mingyong,Zhang Shaowei,Li Xinglong,Li Zhaoyang. Research on Compensation Testing Method for Large-Aperture and High-Order Aspheric Surface[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(7): 072203

趙礎矗,胡明勇,張少偉,李興隆,李昭陽. 大口徑高次非球面補償檢測方法的研究[J]. 激光與光電子學進展, 2020, 57(7): 072203

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